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艾科威專注于

半導體核心裝備研發與全場景工藝解決方案

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匠心淬煉品質 創新引領未來

為科研/企業提供半導體全鏈條方案、助力中國芯技術突破與規模量產

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產品中心

半導體設備廣泛應用于科研機構、大專院校和企業的器件研究

圖片名稱

12寸立式高溫氧化退火爐

滿足12寸晶圓指標,用于在硅襯底上形成潔凈、致密的SiO2膜層;應用于CMOS、IGBT、MEMS等器件,常作為隔離層、緩沖層、掩蔽層、犧牲層等使用。
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12寸立式高溫氧化退火爐

滿足12寸晶圓指標,用于在硅襯底上形成潔凈、致密的SiO2膜層;應用于CMOS、IGBT、MEMS等器件,常作為隔離層、緩沖層、掩蔽層、犧牲層等使用。
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關于艾科威

  湖南艾科威半導體裝備有限公司成立于 2015 年,是聚焦半導體裝備領域的國家級高新技術企業。公司集研發、生產、銷售及服務于一體,核心業務覆蓋集成電路、分立器件、5G 通信、光電器件、傳感器等半導體全領域,為科研機構、高等院校及企業客戶提供從器件研發到批量生產的全流程裝備解決方案,矢志成為全球領先的半導體設備與系統方案供應商。
  作為技術驅動型企業,艾科威以自主創新為核心競爭力,組建了由行業資深專家領銜的研發團隊,具備完整的半導體裝備設計、開發及制造能力。公司持續加大研發投入,在新材料工藝、智能化控制等關鍵領域形成技術突破,不斷迭代升級現有裝備性能,同時前瞻布局下一代半導體制造技術,確保產品始終契合行業前沿需求。?
  依托深厚的技術積淀與人才儲備,艾科威堅持 "技術立企、人才強企" 的發展戰略,通過現代化管理體系與數字化生產能力建設,持續提升產品可靠性與服務響應速度。公司始終以開放姿態吸納全球優秀人才,整合產業資源,致力于打造集 "技術研發、成果轉化、規模生產" 為一體的半導體裝備創新生態,為客戶創造價值,為行業發展賦能。

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2015

公司成立于

60 +

專利技術

600 +

服務客戶

1500 m2

千級凈化工藝實驗

新聞資訊

重視設備與工藝的結合,擁有設備工藝驗證平臺,依托完備的設計基礎和專業的工藝技術,讓客戶獲得最佳的工藝效果及解決方案。

誠邀蒞臨 | 艾科威半導體與您相約 SEMICON China 2026 上海國際半導體展

中國國際半導體設備、材料、制造和服務展覽會(SEMICON China 2026),將于2026年3月25日至27日在上海新國際博覽中心舉辦。 本屆展會展覽面積超10萬平方米,設八大核心展區,匯聚全球1500余家產業鏈優質企業,同期舉辦20+專業技術論壇、數百位行業專家演講、多場圓桌對話、上下游供需對接、新品發布及產學研校企交流等系列活動。 艾科威半導體將在【T1館-T1121號】展位帶著最新的半導體設備解決方案等待您的到來,誠邀各界行業伙伴、客戶朋友蒞臨展位參觀交流,共探產業新機遇,共啟芯途新征程!

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國產“芯”突破|艾科威VCSEL氧化爐,打破國外壟斷,撐起中國半導體裝備底氣

在半導體光電子產業的賽道上,VCSEL(垂直腔面發射激光器)被譽為“光電子核心器件的心臟”,廣泛應用于光通信、3D傳感、激光顯示、車載激光雷達等關鍵領域,而其制造過程中最關鍵的側氧工藝,長期以來被國外高端裝備牢牢壟斷,成為制約國產VCSEL產業自主可控的“卡脖子”痛點。

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匠心鑄芯,蘇州啟航 —— 艾科威半導體裝備(蘇州)開業慶典圓滿舉行

2025年12月22日,艾科威半導體裝備(蘇州)有限公司“匠心鑄芯,蘇州啟航”開業慶典在蘇州納米城盛大啟幕。艾科威半導體裝備(蘇州)有限公司董事長田杰成、蘇州納米城科技發展有限公司董事長張淑梅、蘇州納米城科技發展有限公司副總裁李壽祥、江蘇第三代半導體研究院院長助理魏瑛輝等業界多位領導人齊聚一堂,共同見證艾科威半導體深耕中國半導體產業、布局華東市場的關鍵里程碑。此次開業不僅標志著艾科威正式扎根蘇州創新沃土,更將以尖端技術實力與精益求精的匠心精神,為國產半導體產業高質量發展注入強勁新動能。

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