以執(zhí)行之力，鑄科技之魂：艾科威開啟高端半導(dǎo)體設(shè)備自主化新篇章

2025年10月14日

#前言#

近日，艾科威半導(dǎo)體裝備研發(fā)中心召開專題會(huì)議，圍繞“鍛造高效執(zhí)行力，杜絕自由主義” 展開深度研討。尹昊總在會(huì)上指出，執(zhí)行力是科技自立自強(qiáng)的根本保障。作為國(guó)家科技自立自強(qiáng)戰(zhàn)略的重要參與者，艾科威此次會(huì)議不僅為公司攻堅(jiān)關(guān)鍵技術(shù)、夯實(shí)產(chǎn)業(yè)鏈競(jìng)爭(zhēng)力注入強(qiáng)勁思想動(dòng)能，更聚焦研發(fā)團(tuán)隊(duì)當(dāng)下作風(fēng)建設(shè)，錨定未來(lái)行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，勾勒出企業(yè)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)共成長(zhǎng)的宏偉藍(lán)圖。

01 執(zhí)行力：半導(dǎo)體研發(fā)的“硬核底氣”

半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)被譽(yù)為“精密制造的皇冠”，涉及機(jī)械、電氣、軟件、物理、化學(xué)等多學(xué)科交叉。一款高端設(shè)備的誕生，需歷經(jīng)數(shù)百個(gè)環(huán)節(jié)的精密配合——無(wú)論是熱處理設(shè)備、PVD，還是刻蝕設(shè)備，任何一個(gè)細(xì)節(jié)的執(zhí)行偏差，都可能導(dǎo)致項(xiàng)目延期、技術(shù)突破受阻。主題分享人尹昊總在會(huì)上深刻指出：“在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)白熱化的今天，執(zhí)行力不僅是按質(zhì)按量完成研發(fā)任務(wù)的能力，更是艾科威將技術(shù)藍(lán)圖轉(zhuǎn)化為市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的核心引擎。”管理實(shí)踐早已印證：“一個(gè)成功的企業(yè)30%靠戰(zhàn)略，40%靠執(zhí)行力，30%靠機(jī)遇。”對(duì)艾科威而言，強(qiáng)大的執(zhí)行力既是突破國(guó)外技術(shù)壁壘、實(shí)現(xiàn)“卡脖子”領(lǐng)域自主可控的關(guān)鍵，也是公司在行業(yè)周期中穩(wěn)健前行的底氣。唯有將每一項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)、每一個(gè)研發(fā)節(jié)點(diǎn)落到實(shí)處，才能讓先進(jìn)技術(shù)理念走出圖紙，成為支撐我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全的“硬核力量”。

02 技術(shù)突破：執(zhí)行力結(jié)出的“硬核成果”

會(huì)議期間，各部門負(fù)責(zé)人就近期重點(diǎn)項(xiàng)目進(jìn)展深入?yún)R報(bào)，同時(shí)重點(diǎn)展示了艾科威的重大技術(shù)突破——首臺(tái)可用于VCSEL側(cè)氧工藝的國(guó)產(chǎn)低溫氧化爐VOF150-2，已成功研發(fā)并落地。該設(shè)備支持 6 英寸晶圓加工，溫度范圍覆蓋300℃-500℃；憑借250mm的恒溫區(qū)長(zhǎng)度、25片/批的裝載量，再輔以獨(dú)創(chuàng)的多溫區(qū)控溫與自適應(yīng)PID動(dòng)態(tài)熱補(bǔ)償算法，其在控溫精度與氧化均勻性上實(shí)現(xiàn)顯著飛躍，目前在穩(wěn)定性、效率與工藝一致性上已達(dá)國(guó)際頂尖水平。

這一里程碑式成果，不僅成功填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端氧化設(shè)備空白，更標(biāo)志著艾科威在低溫氧化技術(shù)領(lǐng)域躋身國(guó)際領(lǐng)先陣營(yíng)——既為光通信、激光顯示、3D傳感等前沿領(lǐng)域提供關(guān)鍵工藝保障，也大幅增強(qiáng)我國(guó)在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的自主性與話語(yǔ)權(quán)。

03 全員倡議：以執(zhí)行力奔赴“芯”未來(lái)

前路浩蕩，未來(lái)可期。會(huì)議向每位艾科威人發(fā)出倡議：以“空杯心態(tài)”學(xué)習(xí)新知，避免經(jīng)驗(yàn)固化；以“團(tuán)隊(duì)精神” 強(qiáng)化協(xié)作，牢記“沒有完美的個(gè)人，只有完美的團(tuán)隊(duì)”；以 “細(xì)節(jié)意識(shí)” 嚴(yán)控質(zhì)量，踐行“天下大事必作于細(xì)”；以“零借口思維”狠抓執(zhí)行，確保任務(wù)落地見效。

未來(lái)，艾科威將持續(xù)把執(zhí)行力融入研發(fā)、生產(chǎn)、服務(wù)全流程，向著“全球領(lǐng)先半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)”目標(biāo)堅(jiān)定前行，在我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起的浪潮中，書寫屬于艾科威的奮斗新篇章！

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